TOKYO KEISO東京計(jì)裝株式會(huì)社流量控制系統(tǒng)FC6500介紹
FC6500 是一個(gè)獨(dú)立的流量控制系統(tǒng)。
來自各種感測器的流量信號(hào)由類比輸入捕獲，閥門運(yùn)行，使流量在目標(biāo)值下恆定。 FC6500系列由全氟樹脂控制閥和流量控制器組成。
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流量控制閥：FCV系列
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流量控制器：FCA6500系列
通過增加控制閥的產(chǎn)品陣容，可以實(shí)現(xiàn)廣泛的流量控制。
此外，控制閥和控制單元的分離提高了**性並實(shí)現(xiàn)了自由布局。
它是各種化學(xué)溶液的過程管理的理想選擇，包括半導(dǎo)體過程和純水。
它不僅可以用作溫度控制和壓力控制的控制系統(tǒng)，還可以使用流量控制目標(biāo)作為流量控制閥
特點(diǎn)：
· 提高**性，自由佈局
通過在過程連接處分離流量感測器/控制閥和測量控制單元，提高了防止液體洩漏的**性，並且可以自由選擇布局。
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可實(shí)現(xiàn)廣泛的流量控制
FCV 系列提供的控制閥可以控制*小 10 至 100 mL/min 到*大 1 L/min 的流量范圍。
· CE標(biāo)志
符合歐盟 EMC、RoHS2、低電壓指令（
EMC 標(biāo)準(zhǔn)：EN61326-1：2013、EN61326-2-3：2013）
主要規(guī)格：
