FESTO費(fèi)斯托在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

FESTO費(fèi)斯托是一家傳承三代的家族企業(yè)，經(jīng)濟(jì)獨(dú)立且具有社會(huì)責(zé)任感

立足傳統(tǒng)，著眼**

求知欲、勇氣和適應(yīng)力并非費(fèi)斯托的新理念， 而是始終流淌在我們的血液里。我們想要打造**地位，以便時(shí)刻準(zhǔn)備好應(yīng)對(duì)不斷變化的市場(chǎng)需求。

應(yīng)用：控制和調(diào)節(jié)冷卻回路

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中可靠地調(diào)節(jié)冷卻液

Festo 的解決方案：

閥島 VTUG 和 VTOC (1)用于可靠地控制介質(zhì)的氣控閥

CPX-MPA 型閥島如果需要額外的 I/O，例如用來(lái)控制電控閥、集成傳感器或創(chuàng)建閉環(huán)控制回路。此閥島還可用于執(zhí)行診斷和遠(yuǎn)程維護(hù)功能。

氣控或電控 閥 VZXA、VZQA 和 VZWF (3)控制介質(zhì)流量。即使在閉環(huán)控制回路中，也能可靠、準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)非常冷和/或熱的介質(zhì)。

角行程驅(qū)動(dòng)器 DFPD (4)驅(qū)動(dòng) 球閥 VZBF (5)以及通常用于冷卻或溫度控制介質(zhì)的主管線(xiàn)和進(jìn)/出管線(xiàn)的大流量翻板閥。

SFAW (2) 和 SPAW (6)型傳感器非常準(zhǔn)確地測(cè)量介質(zhì)流量以及溫度和壓力。

1.完全裝配并經(jīng)過(guò)測(cè)試的即可安裝系統(tǒng)解決方案

2.一站式提供您用于調(diào)節(jié)冷卻過(guò)程所需的所有元件

3.標(biāo)準(zhǔn)版本的介質(zhì)閥堅(jiān)固可靠，或根據(jù)安裝空間、溫度和介質(zhì)定制的解決方案
冷卻應(yīng)用中的介質(zhì)分配元件：

閥島VTUG,帶有多針或現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)接口

緊湊、通用、大流量。優(yōu)化的閥島型號(hào)，安裝在控制柜中，帶有氣路板，可提高防腐蝕性能。還具有熱插拔功能，可在不中斷正在進(jìn)行的過(guò)程的情況下更換閥。
擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)器 DFPD

DFPD 系列采用齒輪齒條組合，在整個(gè)擺動(dòng)范圍內(nèi)具有恒定的扭矩特性。擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)器 DFPD 非常適合蝶閥、球閥和風(fēng)門(mén)的自動(dòng)化。
 球閥VZBF

盱液體和氣體介質(zhì)的雙組分不銹鋼球閥易于維護(hù)。其防火設(shè)計(jì)符合API 607的要求。
冷卻應(yīng)用中的介質(zhì)分配閥：

夾管閥VZQA

常閉或常開(kāi)?將由您選擇。使用夾管閥VZQA,您可以更好地控制介質(zhì)流，如顆粒、含固體物的流體和高粘度或研磨介質(zhì)。緊湊型閥安裝快速，易于清潔并提供模塊化配置。

角座閥VZXA

極高的流量、易于清洗和模塊化結(jié)構(gòu)。您可以將閥體和驅(qū)動(dòng)器組合在一起，以適應(yīng)您的應(yīng)用，并使其更加靈活。

電磁閥VZWF

強(qiáng)制先導(dǎo)式氣控閥VZWF使用相對(duì)較小的電磁線(xiàn)圈控制大公稱(chēng)通徑內(nèi)的高壓，即使在沒(méi)有壓差的封閉質(zhì)回路中也適用。
半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品

Festo 為制造電子元件的機(jī)器提供了廣泛的產(chǎn)品組合：具有集成**功能的閥島 VTOC 或我們的比例壓力閥 VEAA/VEAB（用于對(duì)通常控制或調(diào)節(jié)工藝氣體的介質(zhì)閥進(jìn)行先導(dǎo)控制）。