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產(chǎn)品名稱:
日本小野ONOSOKKI非接觸厚度計CL-5610
產(chǎn)品型號:
CL-5610
產(chǎn)品展商:
ONOSOKKI小野測器
折扣價格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):377
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
豊富な計測項目
厚みとギャップを計測できます。また、それぞれに対し、偏差値?*大値?*小値?*大幅値(*大?*小)の演算値も表示出來ます。
導(dǎo)體?半導(dǎo)體の他、絶縁體の厚みも測定可能
CL-0300 絶縁體測定機能(オプション)により、薄いプラスチックフィルムやガラス板などの絶縁體の厚みを計測することができます。
導(dǎo)通が完全に取れないサンプルなども安定した厚み計測が可能
サンプルをフッ素系膜でコーティングしたテーブルで保持する場合などは、サンプルと本體(コモン)間の導(dǎo)通を取ることが困難でした。これまでは、広い面積でサンプルと接觸させることで安定性を確保する必要がありましたが、CL-0210 高インピーダンス接地モード機能(オプション)により、その面積を小さくすることができます
日本小野ONOSOKKI非接觸厚度計CL-5610
的詳細(xì)介紹
計測対象
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導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絶縁體 *1
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センサ入力
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2チャンネル(A、B)靜電容量式センサ
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測定項目
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測定対象物の厚さ(導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絶縁體<オプションCL-0300>)
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センサ A と測定対象(導(dǎo)體、半導(dǎo)體)とのギャップ(A)
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センサ B と測定対象(導(dǎo)體、半導(dǎo)體)とのギャップ(B)
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A と B との差 (A - B)
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表示モード
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適合センサと表示分解能
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新型 VE シリーズ靜電容量式ギャップディテクタとの組合せにより、次の表示分解能となります。
センサタイプ
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測定範(fàn)囲
(μm)
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分解能(μm)
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標(biāo)準(zhǔn)
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CL-0200高分解能演算機能
オプション裝著時
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VE-2011
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20 ~ 200
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0.1
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0.02
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VE-5010
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50 ~ 500
20 ~ 200*1
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0.1
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0.05/0.02*1
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VE-5011
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VE-1020
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100 ~ 1000
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0.1
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0.1
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VE-1021
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VE-1520
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150 ~ 1500
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0.5
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0.2
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VE-3020
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300 ~ 3000
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1
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0.5
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VE-3021
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VE-8020
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800 ~8000
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2
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1
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VE-8021
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*1:VE-5010/5011 は、CL-0201 測定範(fàn)囲変更オプションにより測定範(fàn)囲を 20 ~ 200 μm に指定することができます。その際の高分解能オプション裝著時の表示分解能は 0.02 μm となります。
※絶縁體計測の場合、測定範(fàn)囲の約1/3の厚みを計測の目安としてください。
例)VE-1020を使用する場合、絶縁體の厚みは約350μm以下となります。
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精度
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±0.15 %/F.S.(標(biāo)準(zhǔn))
±0.12 %/F.S.(CL-0200高分解能演算機能オプション裝著時<VE-8020/8021を除く>)
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精度保証溫度範(fàn)囲
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23℃ ± 2℃
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表示部
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蛍光表示管
測定結(jié)果の表示は1項目(大文字)/2項目(小文字)の切替可能
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パラメータ設(shè)定
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測定?演算に必要な各種パラメータはパネル面の各種キーを使用し、內(nèi)部メモリーに設(shè)定します。これらの設(shè)定値はパワーオフメモリーにより電源を切っても記憶されます。
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サンプリング時間
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20 ms
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アベレージング
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移動平均:1 ~ 64 回
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インタフェース
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RS-232C:本器のリモートコントロール、および計測データの取り込みが可能。DPU-414 プリンタ(別売)に印字可能
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BCD 出力機能
(オプション:CL-0120)
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計測結(jié)果を 6 桁パラレル BCD で出力
出力方式:オープンコレクタ出力
出力データ:GAP-A、GAP-B、THICK、A-B、DISP2 表示値から選択
データ更新時間:20 ms
接続ケーブル:AA-8207 (3 m、片側(cè)オープン)
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リモート機能
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外部から演算機能の開始/停止、厚さ校正などの操作可能
A
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電源供給
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DC 5 ~ 24 Vを入力
?外部から DC 6 V 以上を供給する場合は、抵抗を挿入してください。
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B
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START
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START キーと同じ機能
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C
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STOP
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演算モードを停止します
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D
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PAUSE
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PAUSE キーと同じ機能
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E
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CALIB
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登録されている測定対象物基準(zhǔn)片データで校正
?導(dǎo)體測定時のみ有効となります
?測定対象物基準(zhǔn)片の厚さは変更できません
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F
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START STATUS
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演算モード及び演算中斷モード時にアクティブに切り替わり
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G
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COMMON
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0 V を接続
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H
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+5V出力
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+5 V(MAX:0.4A)を出力
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※適合コネクタ:R03-PB8M(多治見無線製)
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SYNC機能
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CL-5610/CL-5610S を複數(shù)臺並列同期運転可能
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電源
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AC 100V ~ 240V 50/60 Hz
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使用環(huán)境(本體のみ)
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溫度:+23 ℃±2 ℃(精度保証範(fàn)囲)、0 ℃~+40 ℃(使用範(fàn)囲)
濕度: 20~80 % R.H.(但し結(jié)露しないこと)
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外形寸法
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210(W)×99(H)×276(D)mm(CL-5610/5610S 本體)
42.4(W)× 56(H)120(D)mm(CL-5610S用 変換器)
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質(zhì)量
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約 4.2 kg(CL-5610/5610S 本體)
約 0.6 kg × 2(CL-5610S用 変換器 CL-0420)
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価格
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CL-5610: ¥ 630,000 (稅込 ¥ 680,400 )
CL-5610S: ¥ 780,000 (稅込 ¥ 842,400 )
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