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產(chǎn)品名稱:
江蘇蘇州 大冢嵌入式膜厚檢測儀 FE-3
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?采用分光干涉法
?搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（磚利 第4834847號）
?使用光學(xué)光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)
?可嵌入至各種制造設(shè)備。
?實(shí)時測量膜厚
?可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點(diǎn)測量
?采用壽命長、**性高的白色LED光源
江蘇蘇州 大冢嵌入式膜厚檢測儀 FE-3
的詳細(xì)介紹
測量項(xiàng)目
·多層膜厚解析
用 途
?光學(xué)薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）
?FPD相關(guān)（光刻膠、SOI、SiO2等）
設(shè)備構(gòu)成
單點(diǎn)型
?半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量
?玻璃基板的面內(nèi)分布測量
多點(diǎn)型
?實(shí)時測量
?流向品質(zhì)管理
?真空室適用
導(dǎo)線型
?實(shí)時測量
?寬度方向品質(zhì)管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析
