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產(chǎn)品名稱:
自動(dòng)Mask Aligner UV 光刻機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品展商:
其它品牌
折扣價(jià)格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):240
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自動(dòng)Mask Aligner UV 光刻機(jī)
自動(dòng)Mask Aligner UV 光刻機(jī)
的詳細(xì)介紹
本設(shè)備把Photo Mask 和Wafer 的對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行對(duì)位重合，進(jìn)行軟接觸曝光的Mask 對(duì)位設(shè)備。由圖像處理系 統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)行對(duì)位處理。 Cassette 對(duì)Cassette 的搬送，Pre-Alignment，Alignment，曝光等一系列的動(dòng)作自動(dòng)進(jìn)行。 可以通過(guò)對(duì)觸摸屏的操作，輸入曝光所需要的必要條件。 通過(guò)搭載的3 臺(tái)搬送機(jī)械臂，從而實(shí)現(xiàn)高速率的生產(chǎn)。 ◆將插入Wafer 的專用Cassette 置入設(shè)備后，開始生產(chǎn)。 ① 收納在Loader Cassette 內(nèi)的Wafer 數(shù)量?狀態(tài)由傳感器讀?。▓D片） ② 由搬送機(jī)械臂1 把Wafer 從Loader Cassette 搬送到預(yù)對(duì)位操作臺(tái)上 ③ 根據(jù)外形，平邊整合并進(jìn)行預(yù)對(duì)位 ④ 由搬送機(jī)械臂2 運(yùn)載wafer 到操作臺(tái)上 ⑤ 自動(dòng)對(duì)位 ⑥ 曝光位置管理 ⑦ 曝光 ⑧ Wafer 放入到Unloa