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型號(hào)
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SURFCOM FLEX
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-5OA
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-35B
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-40A
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-45A
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量程
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Z方向
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±400μm
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±160μm
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驅(qū)動(dòng)軸
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X方向 50mm
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X方向 12.5mm
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Y方向 4.0mm
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分辨率
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乙方向
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0.00016/±4μm
0.16μm/±400μm
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0.01μm/±20μm
0.08μm/±160μm
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分析項(xiàng)目
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對(duì)應(yīng)規(guī)格
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JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO規(guī)格
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參數(shù)
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JIS-2001
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Ra、Pa、Pq、Pt、Rz、RzJ、Rzmax、Rq、Rp, Rt,R3z, RSm, Pc,AVH,Hmax,Hmin,Pmr,Rmr,Pk, Rpk,Rvk, Mr1, Mr2, VO, K,
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Motif
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R. Rx. AR, W, Wx ,AW, Wte
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評(píng)價(jià)曲線
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剖面曲線、粗糙度曲線、ISO13565特殊粗糙度曲線、粗糙度中心曲線(Motif)、波紋度Motif曲線、包絡(luò)波紋度曲線
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濾波波紋度曲線、
波紋度曲線
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__________
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特征曲線
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負(fù)荷曲線、振幅分布曲線
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濾波
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濾波方式
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高斯、2RC、2RC（無相位補(bǔ)償）
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截止波
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λc:0.08、0.25、0.8、2.5、5、8、25mm
λs：0.25、0.8、2.5、8、25μm
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λc:0.08、0.25、0.8、2.5mm
λs：2.5、8μm
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λc:0.08、0.25、0.8μm
λs：2.5μm
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評(píng)價(jià)長(zhǎng)度
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0.1~50mm(0.1mm單位)
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0.4~12.5mm(0.1mm單位)
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0.4~4.0mm(0.1mm單位)
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測(cè)量速度
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0.15~1.5mm/s
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0.6mm/s
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0.3mm/s
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傳感器
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動(dòng)作方式
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普通型
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標(biāo)準(zhǔn)型
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退避型
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橫向測(cè)量型
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傳感器方式
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差勁變壓器
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差動(dòng)電感（變位型）
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測(cè)針
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金剛石、60°圓錐、2μmR
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金剛石、90°圓錐、5μmR，導(dǎo)頭32mmR（驅(qū)動(dòng)方向）
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測(cè)力
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0.75mN以下
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4mN以下
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尺寸及
質(zhì)量
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電源
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內(nèi)置充電電池（AC變壓器充電），充電時(shí)間3小時(shí)
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耗電量
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約30VA（充滿電后可以測(cè)600次）
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質(zhì)量
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約90g
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外形尺寸
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FLEX部：132（W）x58(D)X214(H)mm
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標(biāo)準(zhǔn)附屬品
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標(biāo)準(zhǔn)片(E-MC-S24B)、AC變壓器、記錄紙（E-CH-S25A）、說明書
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傳感器（E-DT-SE19A）
測(cè)定子（DM43801）
驅(qū)動(dòng)部線（E-SC-S517A）
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傳感器（E-DT-SM10A）
測(cè)定子（E-WJ-S64A）
驅(qū)動(dòng)部線（E-SC-S518A）
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傳感器（E-DT-SM39A）
標(biāo)準(zhǔn)片（E-WJ-S558A）
V型導(dǎo)頭（E-WJ-S536A）
驅(qū)動(dòng)部線（E-SC-S519A）
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