SIMCO-ION思美高設(shè)備優(yōu)點(diǎn)：靜電吸附是用于臨時(shí)吸附材料的一種特殊工藝，ECM系列靜電吸附系統(tǒng)可以根據(jù)客戶需要提供高達(dá)60KV靜電電壓用于各種場(chǎng)合。ECM靜電吸附系統(tǒng)采用高頻開關(guān)技術(shù)提供三大優(yōu)勢(shì)。首先，能夠根據(jù)所設(shè)定的電壓實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的電壓輸出；其次，輸入電壓的波動(dòng)將不會(huì)影響輸出電壓波動(dòng)；*后，周邊環(huán)境的變化，負(fù)載的變化，特別是在*大臨界負(fù)載變化將不會(huì)影響輸出電壓的穩(wěn)定性。ECM靜電吸附系統(tǒng)采用防電弧技術(shù)，很重要的優(yōu)點(diǎn)可以保證人身和設(shè)備使用**,并提高設(shè)備的穩(wěn)定性，延長使用壽命。對(duì)于靜電吸附系統(tǒng)，靜電產(chǎn)生電極通常被連接到高達(dá)幾萬伏的電壓，靜電產(chǎn)生電極周圍會(huì)發(fā)生電暈現(xiàn)象，空氣被電離，在電場(chǎng)的作用下，電荷移動(dòng)至目標(biāo)物體上。此時(shí)目標(biāo)物體所帶有電荷的極性依賴于所產(chǎn)生高壓相對(duì)于地極的極性。

5225 型氣棒離子發(fā)生器是一種棒型離子發(fā)生器，專為半導(dǎo)體等超潔凈工藝設(shè)備的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

長處

■單晶硅電極在全球擁有****的采用記錄，具有超低顆粒特性，避免
了電極材料造成的金屬污染風(fēng)險(xiǎn) ■通過脈沖直流法
消除靜電的能力范圍廣 ■ 由全數(shù)字電路控制， 更穩(wěn)定的離子生成和長期離子平衡 ■ 通過在中和目標(biāo)附近安裝5200-SR外部傳感器（可選），可以控制中和目標(biāo)附近的離子平衡
，而不是離子發(fā)生器棒本身（如果未連接5200-SR， 離子發(fā)生器棒內(nèi)置的傳感器自動(dòng)調(diào)節(jié)離子平衡）
■ 根據(jù)半導(dǎo)體前端工藝的EFEM設(shè)置長度條 ■ 離子發(fā)生輸出、離子發(fā)生時(shí)間、報(bào)警閾值等 各種參數(shù)可在很寬的范圍內(nèi)設(shè)置
。 靈活
支持長距離應(yīng)用和氣流較弱的環(huán)境 ■ 只需以數(shù)字方式輸入?yún)?shù)即可獲得高再現(xiàn)性，可在短時(shí)間內(nèi)
完成設(shè)置 ■ 除了簡單的報(bào)警IO， 使用免費(fèi)提供的DLL可以進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，有助于掌握過程設(shè)備的狀態(tài)。

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