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產(chǎn)品資料
產(chǎn)品[

ULVAC愛發(fā)科 半導體螺桿式干式真空泵[產(chǎn)品打印頁面]

]資料
如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以 產(chǎn)品名稱: ULVAC愛發(fā)科 半導體螺桿式干式真空泵
產(chǎn)品型號: MS120A
產(chǎn)品展商: 其它品牌
折扣價格: 0.00 元
關(guān)注指數(shù):131
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

ULVAC的產(chǎn)品包括產(chǎn)生真空的“真空泵”、測量真空(壓力)的“真空計”、測量真空中氣體類型的“過程氣體監(jiān)視器”以及識別泄漏點并檢查泄漏量的“泄漏檢測器”。我們開發(fā)并提供各種真空技術(shù)所需的真空設(shè)備和部件,包括“薄膜沉積設(shè)備電源”和“真空閥”等部件。MS120A

ULVAC愛發(fā)科 半導體螺桿式干式真空泵

   的詳細介紹
日本ULVAC愛發(fā)科油回轉(zhuǎn)真空泵VD系列
 VD30C / VD40C / VD60C / VD90C/ 

日本ULVAC螺桿式干式真空泵
愛發(fā)科MS120A / MS600A / MS1200A

日本ULVAC愛發(fā)科 油回轉(zhuǎn)真空泵
VS系列 ULVAC超真空
VS300A-W

日本ULVAC愛發(fā)科超真空泵  
油回轉(zhuǎn)真空泵 VS1501/ VS2401 

日本ULVAC愛發(fā)科
旋片式(單級)油回轉(zhuǎn)真空泵
VS650B-A / VS650B-W / VS650B-WL *1 / VS750B-A / VS750B-W 

ULVAC愛發(fā)科可選配件
真空干燥器   VDE-3

愛發(fā)科ULVAC渦旋式干式真空泵DIS/DISL系列
DIS-252/DISL-252


愛發(fā)科ULVAC油回轉(zhuǎn)真空泵
PVD系列
皮帶驅(qū)動低速旋轉(zhuǎn)泵具有安靜、穩(wěn)定的泵送特性
PVD-180(B) / PVD-360(B) 

愛發(fā)科ULVAC
多級羅茨干式真空泵
HR/UR系列  UR421-T / UR600 / UR1200 / UR1800 / UR3601-TT/  
UR421-T / UR90/  UR90 / UR180 / UR421-T 

愛發(fā)科ULVAC多級羅茨干式真空泵
GR系列

GR60A GR90A GR180A 


MS系列真空泵屬于螺桿式干式真空泵。這是一款耐過程干式真空泵,在傳統(tǒng)LS 系列的基礎(chǔ)上提高了耐腐蝕性和粉末排放性能。設(shè)計用于涉及腐蝕性氣體或粉末抽真空的真空工藝。

特征

  • 對轉(zhuǎn)子軸、筒體等主要部件進行特殊的表面處理,具有較高的耐腐蝕性。
  • ULVAC 獨特的螺桿式轉(zhuǎn)子軸設(shè)計實現(xiàn)了高粉末排出性能。
  • 可在從大氣壓到極限壓力的整個壓力范圍內(nèi)連續(xù)運行。

目的

  • 電子零件、半導體制造設(shè)備用真空排氣系統(tǒng)
    蝕刻設(shè)備、灰化設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等
  • 真空熱處理爐、真空抽氣系統(tǒng)
    燒結(jié)爐、滲碳爐等。
  • 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)
    電極干燥設(shè)備、消泡設(shè)備、注液設(shè)備等
  • 醫(yī)療及食品相關(guān)設(shè)備真空排氣冷凍干燥設(shè)備
    、真空干燥設(shè)備等。

*MS1200A 可單獨購買,并添加控制板和傳感器。請聯(lián)系我們。

規(guī)格

模型 MS120A MS600A MS1200A
*大抽速*1 立方米/小時 115 第560章 980
極限壓力 ≤0.6 ≤0.1
電源電壓 三相,50/60Hz,AC200-240V±10%或三相,50/60Hz,AC380-480V±10%
大約功耗*2 千瓦 2.4 3.1 3.1
冷卻水量 升/分鐘 >4.0
吹掃氣體量*1 可持續(xù)發(fā)展管理 0~50
*大水蒸氣處理量
*1*3
公斤/小時 1.5
噪音值*2 分貝(A) 61 62 64
進氣口 KF50(臥式)/VG50(立式) ISO-F-80 ISO-F-100
排氣口 KF40
質(zhì)量*4 公斤 139 第241章 264
兼容標準 CE、cTUVus
標準配件 快速說明書、電源連接器、防水線夾、信號連接器、電源連接器護罩、專用消音器1套
車身選項 電源電壓:200V級或400V級
密封材料:氟橡膠(FKM)或全氟橡膠(FFKM)
外部選項 底盤排氣口、防震夾具、LR兼容單元(進氣口、信號)、吹掃氣閥

*1:典型值
*2:極限壓力
*3:使用吹掃氣體時的*大水蒸氣處理量。
*4: 包括消音器

排氣速度曲線

  • MS120A
    ms120a_curve.png
  • MS600A
    ms600a_curve.png
  • MS1200A
    ms1200a_curve.png

尺寸圖

ms_size_j2.png


代 理日本各類工業(yè)品:SAN-EI三英(點膠閥),MUSASHI武藏點膠機(點膠機),UNIX優(yōu)尼(焊錫機),Nordson諾信EFD(點膠機),IEI巖下(點膠機),aicohsha愛工舍ACM(立式攪拌機),日本KURABO倉紡脫泡機,日本THINKY日新基脫泡機,KLEENTEK可濾特(靜電凈油機),ASAHIKASEI旭化成(工業(yè)泵),TAGAWA十川(軟管),YODOGAWA淀川(集塵機),MALCOM馬康(錫膏粘度計),USHIO牛尾(點光源),SHOWA昭和電機(鼓風機),TSUBAKI椿本鏈條,KIKUSUI菊水(電源),CEDAR思達(扭力測試儀),MEISEI邁澤(電熱剝線器)、SANKO山高(膜厚儀)、TAKASAGO高砂制作所(直流電源)、CCS光源(光源)、Tsubosaka壺坂(輝度箱)、POLARION普拉瑞(探照燈)AITEC艾泰克(檢查光源)、Iwasaki巖崎(金鹵燈)、OTSUKA大塚電子(光學膜厚儀)、KOSAKA小坂(臺階儀)、HORIBA堀場儀器(分析儀)、cosmo科斯莫(氣體測試儀)、SIBATA柴田科學(環(huán)境測定)、TORAY東麗濃度儀(氧氣分析儀)、RION理音(測振儀)、HOKUTO DENKO北斗電工、SANYOSEIKO山陽精工、日本IMV愛睦威地震儀、TML東京測器、TOE東京光電子、SIGMAKOKI西格瑪光機、FLOWELL 福威、ASAHI旭有機材、LUCEO魯西歐(偏光應力儀)、KYOWA共和(應變片)、ONOSOKKI小野(傳感器)、FUJIKURA藤倉(單向閥)TOKISANGYO東機產(chǎn)業(yè)(粘度計)、SK新瀉精機(水平測量尺)SKSATO佐藤(溫度記錄儀)、TECLOCK得樂(硬度計)、AND愛安得(電子天平)、KEM京都電子(水分儀)、TOHNICHI東日(扭力扳手)、Heishin兵神(定子)、TOKKYOKIKI特許機器(抗震臺)、ULVAC愛發(fā)科泵、IWAKI易威奇(泵)、kashiyama柏山(干式泵)、MARUYAMA丸山(泵)、AMAYA天谷制作所(半導體晶圓設(shè)備)、YUASA湯淺(彎折試驗機)、SIMCO思美高(離子棒),SSD西西蒂(離子風扇),DIT東日技研(防靜電),KASUGA春日(離子棒),TRINC高柳(靜電儀器設(shè)備)、Kanetec強 力(高斯計)、SAKURAI櫻井(無塵紙)、Nitto-Kohki日東工器(快速接頭)、NIRECO尼利可(傳感器)、TOFCO東富科(流量計)、eoptics頤光科技(反射膜厚儀)、Filmetrics優(yōu)尼康(膜厚測量儀)、TOKYO KEISO東京計裝(超聲波液位計)、RKC理化工業(yè)(數(shù)顯控制器)、YAMATO雅瑪拓(恒溫箱)YAMADA雅瑪達(隔膜泵)、KOFLOC小島(浮子流量計)、KITZ開滋(閥門)、CKD喜開理(氣缸)、AMANO安滿能(集塵機)、NYS西村化工(半導體)


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