Filmetrics優(yōu)尼康-3D光學表面輪廓儀的工作原理特點及應用

為什么需要測量表面形貌？

在生產(chǎn)中，微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評價具有直接的影響，而且表面三維評定參數(shù)由于能**、真實地反映零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測量就顯重要。通過對三維形貌的測量可以比較**地評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進而確認加工方法的好壞及設(shè)計要求的合理性，這樣就可以反過來通過指導加工、優(yōu)化加工工藝以加工出質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實現(xiàn)。

3D光學表面輪廓儀的測量原理：

光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

3D光學表面輪廓儀的應用

優(yōu)尼康科技有限公司提供的Profilm3D光學輪廓儀，適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

產(chǎn)品特點：

光學輪廓儀對各種產(chǎn)品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應用：

傳統(tǒng)的機械零件由于受加工設(shè)備的限制，對精度包括平面度，粗糙度的要求常規(guī)下停留在微米量級。但隨著技術(shù)發(fā)展，人們對機械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進，設(shè)備加工精度的提高帶動檢測技術(shù)的發(fā)展，傳統(tǒng)的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機械零件有很大的局限性。

光學輪廓儀應用在光學加工行業(yè)時，其3D、高速、精密、可靠和穩(wěn)定，開始引起加工人士的注意并開始應用。3D光學輪廓儀已在汽車發(fā)動機噴油嘴、半導體切割刀具、人工關(guān)節(jié)制造、量塊標定等方面有大量的應用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直線度和高度差等在機械加工檢測中呈現(xiàn)出新的應用。

優(yōu)尼康科技有限公司提供的Profilm3D光學輪廓儀使用了垂直掃描干涉 (VSI) 結(jié)合高**度相移干涉 (PSI) 測量。