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產(chǎn)品名稱:
HUGLE藤宮FOUP/FOSB全自動(dòng)清潔系統(tǒng)
產(chǎn)品型號:
UPC-12500
產(chǎn)品展商:
HUGLE藤宮
折扣價(jià)格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):246
產(chǎn)品文檔:
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HUGLE藤宮FOUP/FOSB全自動(dòng)清潔系統(tǒng)UPC-12500
HUGLE藤宮FOUP/FOSB全自動(dòng)清潔系統(tǒng)
的詳細(xì)介紹
HUGLE藤宮FOUP/FOSB全自動(dòng)清潔系統(tǒng)UPC-12500
HUGLE藤宮FOUP/FOSB全自動(dòng)清潔系統(tǒng)UPC-12500
UPC-12100已經(jīng)改造為自動(dòng)清潔300mm晶圓FOUP的模型。
它以高質(zhì)量，高產(chǎn)量和節(jié)能的概念得到了改進(jìn)，這是現(xiàn)代半導(dǎo)體制造不可或缺的。
它符合CE標(biāo)準(zhǔn)以及SEMI標(biāo)準(zhǔn)。
兼容自動(dòng)傳輸系統(tǒng)（AMHS），通訊協(xié)議與GEM300兼容，適合在線管理。
●高產(chǎn)量●占地面積設(shè)計(jì)●節(jié)能措施●全自動(dòng)FOUP開閉防止交叉污染●雙流體噴射清洗方式超精密清洗●高效干燥方法●SEMI通訊標(biāo)準(zhǔn)兼容GEM300●交貨記錄高●SEMI S2，符合S8和CE標(biāo)準(zhǔn)
規(guī)范